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检测大理石平台的方法

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产品描述
参数

一、大理石平台的使用方法:

1、使用前对平台进行清理,防止测试时工件划伤。

2、不得作为普通平台进行其他作业,以防损伤平台表面。

3、大理石平板经过定位后不得再进行移动,如确需移动,需重新定位找平。

4、测试时需将工件平放至检验大理石平台上,平视工件与大理石平台接触面,找最大缝隙处,使用塞尺进行测量。

二、检测大理石平台的方法:

一种是借助精度为0.5μm的电子水平仪,用位移法可检测直线度,用来制法可检测平面度,将测的结果经过算法换算,可得到直线度和平面度的具体数值;其特点是精度不太高,  但测量数据可靠,无'0'点漂移问题,特别适合于在线测量与检测。

另一种测量直线度的方法可以通过精度为0.1μm的电容测微仪用位移法测量,其表头的示值即为直线度的误差值;在此测量中,由于电感测微仪自身的'0'点漂移较严重,需经过长达24h的稳定后,其数值才可信,故使得加工与测量间的衔接时间增长。更高精度的加工必须有更高一级精度的检测手段,目前常采用HP5528AHP5529A动态校准仪,它的显示精度为1nm,可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角位移测量、对角测量等等。

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